10月27日,2021年中国MEMS制造大会(ChinaMEMS)在江苏省苏州市举行,这是现阶段中国MEMS行业最具影响力的大会,由中国半导体行业协会MEMS分会、微纳米技术学会、中科院纳米所等单位联合举办。
在大会期间举行了“2020年中国半导体MEMS十强企业”颁奖仪式,宣布了2020年度国内优秀的MEMS企业十强名单,该名单是目前国内最权威的MEMS企业名录,代表了目前中国MEMS领域实力最强的10家头部企业。西人马公司很荣幸地成为这10家企业之一,这是西人马公司首次获得这项殊荣,也是对西人马公司多年来深耕MEMS芯片和传感器领域所取得的成绩的最好肯定和赞誉。
△Averie博士(左起第四人)代表西人马公司领奖
先进的MEMS制造工艺
MEMS芯片的产业链主要分为设计、制造、封装和测试。但从目前来看,国内的芯片厂商多处于芯片生产的下游——封装和测试阶段,在上游的设计和制造工艺阶段则少之又少,而芯片的制造工艺又是难点中的难点。西人马是一家以IDM模式经营的芯片公司,从芯片的材料到设计、制造、封装、测试,都是西人马自主完成。
西人马公司的MEMS芯片及传感器车间配备8英寸并向下兼容6英寸的MEMS生产线和高端传感器封测线,拥有6000平方米的高等级洁净车间,具备深硅刻蚀、键合、光刻、原子力显微镜、扫描电镜等先进的制造、封装与检测设备,具备一体化的量产能力。
△西人马公司的先进生产车间
压力芯片和传感器
在种类繁多的传感器市场上,MEMS压力传感器已逐渐成为市场规模最大的细分市场之一,在汽车、工业、消费电子、医疗和民用航空领域均拥有广泛的应用。研究数据显示,MEMS压力传感器市场将以每年3.8%的速度成长,到2023年市场规模将达到20亿美元。
西人马为了满足市场对于不同应用场景的需求,一直在扩充自己的压阻式压力传感器产品矩阵。西人马的TYZV系列传感器从设计、制造、封装到测试,整个产业链做到了完全自主研发。其所生产的产品具有优异的稳定性和灵敏度,内部采用独特的补偿技术,具有卓越的精度,可以精准测量微小压力。另外,压力传感器还有高可靠性、高稳定性等特点,产品的压力范围、精度、使用环境能非常优良地匹配各类产品。
△西人马的压阻式压力传感器产品线
压力传感器的核心部件就是压力芯片,而西人马公司能研发出一系列高性能的压力传感器产品,最大的优势便在于其能够自主研发压力芯片。西人马的压力芯片采用6英寸MEMS产线加工完成,该芯片由一个弹性膜和集成在膜上的若干个压敏电阻组成,电阻形成了惠斯通全桥或半桥结构,当有压力作用在弹性膜上时电桥会产生一个与所加压力成线性比例关系的电压输出信号。
从性能来看,西人马的压力芯片主要工作于-55～125℃和-55～260℃两个温度区域,芯片尺寸从0.6mm x 0.6mm到2.0mm x 2.0mm。此外,压力芯片具有良好的综合精度和稳定性,零点温漂和满量程温漂小,拥有优异的抗干扰能力和抗静电能力,过载能力强,灵敏度高,方便采用运放或集成电路针对输出进行调试。
红外热电堆芯片和测温传感器
自从疫情爆发以来,红外体温检测仪在市场上一直是抢手货,而检测仪的核心部件红外热电堆芯片更是供不应求。西人马公司未雨绸缪,早在疫情初期就自主研发、生产了红外热电堆芯片。该芯片具有高灵敏度、快速响应时间和宽测量温度范围的产品特性,超高的性能满足了红外测温传感器的需求。
在红外热电堆芯片基础上,西人马自研的SGXV02系列红外测温传感器应运而生。这款传感器具有非接触表面温度测量、5.5μm红外滤光片、快速响应时间以及宽测量温度范围的产品特性,灵敏度可达[500 mV,1000mV)(24±1℃,黑体温度35±1℃,电压放大1000倍),测温分辨率最低达到0.1℃(35℃~41℃),性能优于国外同类产品。
△SGXV02红外测温传感器
雄厚的研发实力
西人马公司拥有近千名员工,科研人员约600人,其中研发人员硕博士占比在95%以上。博士学历分布于材料学、生物学、物理学、化学、微机电等专业。西人马的高端人才一般从日本、韩国、中国台湾等芯片产业发达地区引进,核心技术人员如质量总监、项目经理、产品经理大多来自于世界500强或国内知名的上市公司。这些核心人员具备国际化的视野,也非常有助于公司搭建出一支技术强、会打仗、能拼搏的团队。
目前西人马已经拥有了超过500项专利,并以每年30%的速度快速递增,此外还有近300套工作说明及标准作业指引。西人马遵循目前国际最高标准《航空AS9100D》和《医疗ISO13485》,具有ISO/IEC17025资质的实验室并取得CNAS认证。西人马公司的全部校准人员都经过ISO17025培训并取得资质。
西人马公司自创立以来首次获得中国半导体MEMS十强企业荣誉,这是全体FATRI人的骄傲,也是西人马在MEMS领域持续发展的动力。另外,在MEMS领域深耕多年的西人马公司正以只争朝夕的势头开拓新的领域,虽然这注定将是一条漫长而艰难的征途,但是只有那些不惧艰险、经受住考验的企业才能成为最后的赢家。西人马公司,将会成为中国半导体行业的一颗璀璨的明星。
