中国台湾高雄除了台积电三座2nm晶圆厂外，还可容纳2nm以下技术设厂需求。近日有消息称，台积电将于高雄推进A14（14埃米，1.4nm）制程，高雄地方部门已盘点下一代先进技术生产的土地需求及水电供给。
对此，台积电表示不回应市场传言。
消息称，台积电在楠梓园区增设第3座晶圆厂是2nm制程，高雄市积极解决水电、土地及周围生活需求等问题，据悉，楠梓园区用地可供台积电兴建5座晶圆厂，业界传出第4、5厂晶圆厂朝A14制程布局，只待台积电公布。
据悉，台积电在楠梓首座2nm制程技术晶圆厂预计2025年量产，其产值将较3nm更高。知情人士称，未来2nm制程会应用于高性能计算（HPC）和智能手机应用领域，还有电动汽车、自动驾驶汽车等，台积电向来超前研发先进技术，为未来市场布局。
对于A14制程，半导体设备行业人士援引台积电制定的High-NA EUV路线图指出，台积电A14制程将于2026年上半年进行风险试产，最快2027年第三季度量产，量产初期仍主要采用ASML第三代标准型EUV设备NXE:3800E。
此外台积电台中中科新厂，业界也传出会采用2nm以下制程技术。
