据日经新闻报道,荷兰大型半导体制造设备厂商 ASML 将在 2024 年下半年之前在日本北海道新建技术支持基地。
报道称,日本 Rapidus 公司正在力争量产最先进半导体,ASML 将为 Rapidus 提供工厂建设和维护检查等协助,到 2028 年前后将日本国内人员增加 40%。
ASML 在承担半导体制造主要工序的光刻设备领域居世界首位,是全球唯一能生产极紫外(EUV)光刻机的制造商。EUV 是量产 5~7nm 尖端半导体所需设备,因此对于日本本土半导体来说,ASML 的支持至关重要。
ASML 将在北海道千岁市周边建设技术支持基地,由约 50 名技术人员在 Rapidus 建设的半导体试生产线上安装 EUV 光刻设备,为工厂建设和维护检查提供协助。
报道还称,美国应用材料公司也将在今后数年内在日本将人员增加 60%。美国科林研发公司(LamResearch)考虑在北海道新建设施。
注:Rapidus 成立于 2022 年 8 月,由丰田、索尼、NTT、NEC、软银、电装 Denso、铠侠、三菱日联银行等 8 家日企共同出资设立,出资额为 73 亿日元(当前约 3.58 亿元人民币),另外日本政府也提供了 700 亿日元(当前约 34.37 亿元人民币)补助金作为研发预算。该公司计划于 2024 年 12 月安装芯片设备并开始试生产,目标是在 4 年内(最迟 2028 年)量产 2nm 芯片。